6连板联合精密澄清光刻机事项，这3家公司或涉半导体光刻机

​近日，因连续6个交易日内涨停，联合精密在五个交易日内连续三次发布股票交易异常波动公告，澄清光刻机相关事项并无实质性进展。除此之外，2023年9月内，有3家上市公司公开披露业务与生产半导体的光刻机有关。

联合精密三发股价异常波动公告

2023年9月15日，广东扬山联合精密制造股份有限公司（证券简称：联合精密；证券代码：001268.SZ）披露了《股票交易异常波动暨风险提示公告》。

该公告显示，自2023年9月8日至9月15日，联合精密股票收盘价已连续6个交易日涨停，收盘价累计涨幅高达77.15%，严重高于同期行业指数及深证大盘指数。此外，截至9月15日，公司股票滚动市盈率（TTM市盈率）为77.83倍，但同期同行业平均滚动市盈率为30.20倍，公司股价估值是同行业平均估值水平的2.58倍，但公司基本面并未发生重大变化，公司向投资者提示股价异常波动风险。

近期，联合精密的建设项目“年产3万吨空调压缩机零部件、汽车零部件、机器人零部件、光刻机零部件铸件项目”引起市场广泛关注，该项目是基于公司发展规划作出的投资备案。截至目前，该项目中空调压缩机零部件等项目正在有序推进，而光刻机零部件铸件项目公司没有相关技术储备，也不存在光刻机零部件铸件相关业务订单，并无实质性进展，公司生产的产品中不涉及光刻机零部件铸件，公司也没有进入光刻机产业链的业务规划。

此前的2023年9月11日和9月13日，联合精密先后都因连续两个交易日股票收盘价涨幅偏离值累计超20%，已两次发布《股票交易异常波动公告》。

苏大维格收到关注函

苏州苏大维格科技集团股份有限公司（证券简称：苏大维格；证券代码：300331.SZ）通过自主研发微纳光学关键制造设备——光刻机，建立了微纳光学研发与生产制造的基础平台体系。苏大维格的高端智能装备业务中，包括光刻设备和微纳光学产品智能装备两大类。

2023年9月15日，苏大维格披露《投资者关系活动记录表》。

据该公告，有投资者提问，苏大维格董事长曾说公司最新研发的三维纳米直写光刻机已走在国际前列，并已供货华为海思和中科院，公司的三维光刻机在国际上技术水平到底如何？

苏大维格回复，公司高端智能装备包括直写光刻、3D光刻、投影/扫描光刻、纳米压印光刻设备等，部分直写光刻设备已向国内外高校及科研院所、企业销售。

但同一天，苏大维格收到深交所关注函（创业板关注函【2023】第288号）。因2023年9月14日午间，公司在深交所互动易平台回复投资者时表示，“公司光刻机已实现向国内龙头芯片企业的销售，并已实现向日本、韩国、以色列等国家出口”，并提及“公司已关注到纳米压印光刻在集成电路和芯片制造领域具备替代传统光刻的应用潜力，并在积极布局”。9月14日午市开盘后，公司股价大涨触及涨停，引发深交所关注。

深交所要求苏大维格结合不同类型光刻设备技术路线的差异，补充披露公司生产光刻设备的具体类型、主要客户及下游用途，以及最近一年一期内境内外销售情况，并核实说明公司光刻设备是否能直接用于芯片研发及制造，主要技术参数是否与业内龙头存在较大差距；详细说明公司纳米压印技术的具体用途、研发情况及在集成电路领域的布局情况；上述光刻机产品是否对公司业绩产生重大影响，以及公司内部人士及近亲属是否存在内幕交易。

大族激光的光刻机只适用于分立器件

大族激光科技产业集团股份有限公司（证券简称：大族激光；证券代码：002008.SZ）是专业从事智能制造装备及关键器件的研发、生产和销售的上市公司。

2023年9月15日，大族激光在深交所互动易平台回复投资者关于“贵司有没有布局能造芯片的光刻机技术打算”的问题。

公司给出的回复显示，截至目前，大族激光光刻机项目主要应用在分立器件领域，分辨率为3至5微米。其中，接近式光刻机已投入市场，步进式光刻机已启动用户优化，公司将根据市场需求及业务发展情况持续指定研发计划。2023年9月18日，大族激光股价上涨，涨幅一度超过7%。

波长光电或可为光刻机提供大口径光学镜头

南京波长光电科技股份有限公司（证券简称：波长光电；证券代码：301421.SZ）是国内精密光学元件、组件的主要供应商。公司主要产品包括激光光学和红外光学的元件、组件系列及光学设计与检测系列。

2023年9月15日，波长光电披露的《投资者关系活动记录表》显示，当投资者问及“公司在半导体领域或光刻机方面的主要产品及客户有哪些？未来是个什么样的预期？”

波长光电回复称，公司主要产品在半导体领域主要涉及两个领域。其中，生产领域即曝光机、光刻，公司可提供大口径光学镜头用于检测，做折反、投射，还可以提供平行光源系统。一旦公司与客户签署了重大合同或合作金额达到应披露要求，公司会履行信披义务。