国内首台！捷佳伟创完全自主研发 电子级硅芯清洗设备下线

近日，深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司（证券简称：捷佳伟创；证券代码：300724.SZ）在官微表示，其子公司常州捷佳创精密机械有限公司（以下简称：常州捷佳创）国内首台完全自主研发的电子级硅芯清洗设备成功下线，将于近日部署至某合作客户处。

捷佳伟创表示，该硅芯清洗设备是一款用于硅料端制程的硅芯的腐蚀清洗设备，采用碱洗、酸洗、超声、机能水等工艺，清洗硅芯表面有机物、氧化物和金属离子。该产品可用于高纯光伏硅片和半导体硅片的生产制程，清洗后总表金属≤0.2ppbm。

国内首台完全自主研发电子级硅芯清洗设备下线

据捷佳伟创官微，本次常州捷佳创成功下线的国内首台完全自主研发的电子级硅芯清洗设备实现了材料升级、工艺升级、内部洁净升级、结构升级、制作升级、装配升级，以及硅芯载体优化等。

具体而言，捷佳伟创与德国Rochling合力开发了耐氧化、耐高温的材料，用于该设备的槽体制作。同时，该设备全设备设置在千级洁净室生产；结合了国外成熟工艺与机能水清洗工艺，清洗能力更强；内部流场采用全新设计，搭配更高效FFU、抽风通道及酸碱隔离装置，内部更洁净；底部采用龙门式Robot设计，运载更稳定，运动部件产生的Particle可更快排出设备外。该设备的槽体及槽内零件多采用折弯制作工艺，减少藏污纳垢；其硅芯载体优化，更稳定的结构、更小的接触面积配合旋转机构使清洗更彻底。

捷佳伟创表示，长期以来，电子级硅芯硅料清洗设备的市场份额都被国外厂商所占有。此次捷佳伟创的电子级硅芯硅料清洗设备研发成功，使其成为国内唯一一家达到电子级标准的硅芯硅料清洗设备研发生产厂商。

据捷佳伟创官微，目前，捷佳伟创已实现表金属0.5ppbw以上等级的电子级硅料批量出货，0.1ppbw以下的产品将于2024年第一季度推出。事实上，今年以来，捷佳伟创还有多个自主研发的产品成功下线。

2023年8月22日，捷佳伟创官微表示，其自主研制的碳化硅高温热处理工艺设备成功下线，通过预验收后，顺利发往国内半导体IDM某头部企业。捷佳伟创称，该设备能有效降低碳化硅晶体中的微观应力，消除组织缺陷并降低界面态密度，提高载流子迁移率及寿命。捷佳伟创表示，该设备的首次发货，标志着捷佳伟创在第三代半导体装备上取得重大突破。

7月26日，捷佳伟创官微表示，常州捷佳创成功研发出具有行业先进水平的制绒Plus系列设备产品，该产品能够在保持现有高产能的基础上，进一步改善电池表面微观结构，提升硅片表面洁净度，降低表面污染，提升电池转化效率。

捷佳伟创上半年业绩高增长，拟募资9.61亿元新建产能

公告显示，2023年上半年，捷佳伟创实现营业收入40.83亿元，同比增长52.39%，实现归母净利润7.52亿元，同比增长48%。

产品布局方面，在太阳能电池设备领域，捷佳伟创在PERC、TOPCon、HJT、IBC、钙钛矿等技术路线上进行了全面布局。同时，捷佳伟创顺应产品技术发展路径，向半导体设备领域延伸。

具体而言，在TOPCon路线中，捷佳伟创布局了领先的PE-poly技术路线，其产品的效率和良率不断提升；在HJT路线中，捷佳伟创的板式PECVD的射频（RF）微晶P高速率高晶化率沉积工艺取得突破，将进一步增强其在HJT技术路线上的竞争力；在钙钛矿及钙钛矿叠层路线中，捷佳伟创已具备钙钛矿及钙钛矿叠层MW级量产型整线装备的研发和供应能力，并已向十多家光伏头部企业、行业新兴企业及研究机构提供钙钛矿装备及服务。在半导体领域，捷佳伟创拥有4到12英寸槽式及单晶圆刻蚀清洗湿法工艺设备，能够满足第三代半导体、微机电、后端封装、集成电路IDM及晶圆代工厂所需的湿法工艺需求。

此前7月，捷佳伟创发布了《向不特定对象发行可转换公司债券预案》。据捷佳伟创于9月8日披露的可转债募集说明书修订稿，捷佳伟创本次拟募集资金总额不超过96100万元。其中，捷佳伟创拟使用募集资金68629.20万元建设“钙钛矿及钙钛矿叠层设备产业化”项目（以下简称：钙钛矿项目），并使用募集资金27470.80万元补充流动资金。

据募集说明书，常州捷佳创为钙钛矿项目的实施主体，该项目的建设周期拟定为2.5年，于第3年建设完成。该项目第3年的达产率为35%，第4年的达产率为65%，第5年完全达产。完全达产后，捷佳伟创将新增磁控溅射镀膜设备（PVD）年产能160台、反应式等离子镀膜设备（RPD）年产能119台、真空蒸镀设备（MAR）年产能60台。

据捷佳伟创测算，钙钛矿项目完全达产后，将为捷佳伟创带来年营业收入41. 6 7亿元。以计算期10年测算，计算期内的平均年净利润为36439.86万元。钙钛矿项目的税后内部收益率为33.07%，税后投资回报期为5.56年。

捷佳伟创表示，随着太阳能电池的转换效率持续提升，成本持续下降，电池行业从同质化竞争向注重高效化转变，太阳能电池设备行业则向高效化、高产能化、智能化的竞争转变。钙钛矿电池具有高效率、低成本、制备工艺简单等特点，被认为是极具潜力的光伏技术之一。

近年来，钙钛矿电池与晶硅电池的叠加对电池片转换效率的提高也逐渐成为光伏研究领域的重要热点方向。2023年以来，行业内众多电池片厂家及行业外新进入者在新技术路线上布局，带动了TOPCon、HJT、HBC、IBC等高效技术路线的加速产业化，推动了钙钛矿及钙钛矿叠层技术的加速研发。

捷佳伟创称，本次募投项目的实施，可以加快捷佳伟创推进高效钙钛矿及钙钛矿叠层电池核心设备技术的成熟和规模化生产，提升其新型电池工艺研发能力，有助于捷佳伟创提升在高效新型太阳能电池设备，尤其在钙钛矿和钙钛矿叠层电池设备领域的竞争力。